團簇式沉積設備知識點科普
- 2021-12-24-
團簇式沉積設備應用
Cluster集群式半導體工藝系統,可集成PVD /PECVD /Etch /ALD/Plasma Clean / Annealing等工藝模塊,支持8-10個工位,穩定的高精度真空機械手臂,使基片在各腔室之間的高效傳輸。適用于工藝實驗研究、批量器件的制備等。
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